Ce este fotolitografia?
Fotolitografia este unul dintre procesele importante în producția de circuite integrate (IC-uri sau cipuri). Pur și simplu spuneți, este procesul de copiere a unui model de circuit pe un substrat utilizând fotomasca și fotorezist.
Substratul va fi vopsit pe strat izolator de dioxid de siliciu si fotorezist. Fotorezistul poate fi dizolvat cu ușurință cu un revelator după ce a fost expus la lumină UV, după dizolvant și gravat, modelul circuitului va fi lăsat pe substrat.
Ce este Photoresist? De ce trebuie să se blocheze lungimea de undă UV de 500 nm?
Photoresist este combinat cu rășini, solvenți și aditivi. Gama sensibilă la lumină a fotorezistenței este de 200 nm-500nm. Prin urmare, multe laboratoare de semiconductori vor adopta lumina galbenă care blochează lungimea de undă UV de 500 nm pentru a preveni situațiile supraexpuse sau expuse prematur de fotorezist.
